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半導体製造工場火災事故調査報告について | 2021年...」への感想

  • tukanana
    tukanana 「火災報知器として光電式煙感知器を設置していたが、クリーンルームにおける清浄化用の空気循環システムにより、発煙時の煙粒子が滞留せずにHEPA により除去され、検知が遅れたことが考えられる。」あー… 」 2021/09/15
  • TakamoriTarou
    TakamoriTarou 直接調査できてないけど、装置の一部の端子から出火では、とのことで、原因としてはよくある奴なだけに、根本対策が難しい奴や…。 2021/09/16
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