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造れるのはASML1社のみ、難関だらけのEUV露光装置」への感想

  • qpci32siekqd
    qpci32siekqd ドロップレットにレーザー当てる度に真空度が低下、EUV光量足りないからレーザー出力上げるとマスクや反射光学系にダメージ、バカ高い電気代、下がらないランニングコスト。製品価格に転嫁すると高くなる。 2024/03/14
  • ya--mada
    ya--mada 質量は180t。輸送にはジャンボジェットの貨物機3機分が必要という。(出所:ASML) 2024/03/14
  • murasuke
    murasuke 表面粗さ50pm以下の精度で磨かれており、って金属の原子半径以下だから、実質欠陥0って事? 2024/03/14
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