世界最高精度のフィゾー型大口径平面度干渉計を開発、測定対象物の平面度を直径約300mmの測定範囲にわたって10nmの精度で測定可能 これまで日本には無かった平面度の依頼測定業務(平面度標準の供給)を4月より開始予定 集積回路やハードディスクの高密度化と歩留まりの向上に寄与 独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 吉川 弘之】(以下「産総研」という) 計測標準研究部門【部門長 小野 晃】は、富士写真光機株式会社【代表取締役社長 樋口 武】(以下「富士写真光機」という)の協力を得て、測定対象物の平面度を測定するための、フィゾー型大口径平面度干渉計【写真1参照】を開発し、世界最高精度での平面度測定を実現した。本装置は、直径約300mmの測定範囲を持ち、測定精度は世界最高の10nm( 1ナノメートル:10億分の1メートル)である。 また、産総研では公的な研究機関として、計量標準に関する試験・測定