第291回 最先端半導体に必須のEUV露光装置から「お金の匂い」がする理由

半導体分野に関心を持つ方が増えたためなのか、「EUV関係」がニュースになることが多くなっている印象がある（EUVの詳細については後述）。筆者が、ちょっと検索しただけでも、ここ1カ月ほどだけでも以下のようなニュースがあった（順不同）。 一部には「EUV」と聞くと「買い」みたいな雰囲気もある。そこまで短絡的でなくても「EUV」と聞くとお金の匂いを感じ取る向きが多いようだ。 なぜEUVに「お金の匂い」を感じるのか？ 「EUV」、日本語で言えば「極端紫外線」、英語でつづれば「Extreme Ultraviolet」なので「EUV」となる。波長13.5nmという紫外線、これより短くなるとX線（レントゲン線）カテゴリーに入ってくる。紫外線としては最も短い波長の電磁波である。こんなものにお金の匂いを感じる人が多いのは、ズバリ最先端の半導体製造において超微細なパターンを半導体上に形成する上でなくてはならな

[qpci32siekqd]

ドロップレットの錫にレーザー当ててEUV出した後、チャンバー内に堆積していく錫で真空度下がる、ミラーの反射率下がる、モリブデンSiミラー削れる、でシュリンク効果薄い割にランニングコストが下がらないのでなぁ

[zu2]

”しかし、これが難しいのだ。どことは言わないが日本にも露光装置（ステッパー）のメーカーはある。以前は、世界の最先端を走っていた時代もあったのだ。しかしEUV露光装置の開発には失敗している”

[daishi_n]

そもそも日本でEUV露光のコンソーシアム立ち上げたのにニコキヤノもギブアップしてASMLが一点賭けして我慢して得たものだからねぇ。特許を国際情勢でライセンスしても莫大な金額が入るだろうね

[iww]

シノギの匂いがする

[danhox]

会員登録前のところしか読めてないけど、金カネすごい連呼するのが気になり過ぎてダメだった

[tanakamak]

”どことは言わないが日本にも露光装置（ステッパー）のメーカーはある”のうちの一社でナノインプリントリソグラフィというのもやっています。