走査型トンネル顕微鏡（STM） : 日立ハイテク

走査型トンネル顕微鏡（STM）は、金属 探針と試料の間に流れるトンネル電流を検出するタイプの顕微鏡です。 先端の尖った白金やタングステンなどの金属探針を、互いの電子雲が重なる程度の至近距離まで試料に近づけ、微小なバイアス電圧を印加すると、トンネル効果により電子が飛び移り、トンネル電流が流れます。トンネル電流は探針・試料間距離に対して指数関数的に変化するため、原子1個の半分の距離の差でもトンネル電流は大きく違ってきます。 STMでは、このように探針・試料間距離に敏感なトンネル電流を利用して、表面形状を原子分解能で観察します。 走査型トンネル顕微鏡（STM）は、金属探針を試料表面上で水平（X、Y）に移動させ、常にトンネル電流が一定になるように探針・試料間距離（Z）をフィードバック制御しています。そのときの垂直方向移動量をマッピングすることで、試料表面の形状を得ることができます。 水平・垂直方