2009年春、1つのニュースが世界を駆け巡った。 新日本製鉄(新日鉄)が、20年近く開発を続けてきた炭化ケイ素(SiC)単結晶ウエハーが製品となったのだ。子会社の新日鉄マテリアルズが2インチ(50ミリメートル)、3インチ(76ミリメートル)、4インチ(100ミリメートル)というサイズのSiCウエハーを4月1日から製造販売している。2008年の第18回「日経BP技術賞」機械システム部門賞を獲得した「内部欠陥の少ない大口径炭化ケイ素(SiC)単結晶ウエハーの製造」という技術が、いよいよ世に出る瞬間を迎えている。 SiCウエハーとは、SiCの単結晶で作られたインゴット(円柱形の塊)を厚さ約0.36~0.37ミリメートルという極薄で円盤状にスライスしたもの。モーターの回転数を調整するインバーターなどに利用されているパワーデバイス(電力用半導体素子)の基板材料として利用されている。 大きな省エネ効果