半導体製造工程に幅広く使われている石英ガラス製品。熱処理成膜工程で使う石英チューブをはじめ、エッチング工程の石英リング/プレート、さらにはエピタキシャル成長や露光工程でも使われており、半導体を作るうえでは欠かせない部材の1つだ。 半導体設備投資の低迷により、製造装置はもとより、製造装置向けの治具・パーツも投資停滞の影響を受けるが、石英製品は消耗品としての側面が強く、リピート需要によって他の部材ほどダメージは受けていない。半導体製造プロセス向けの石英ガラスを取り巻く市場動向と、参入各社の取り組みを紹介する。 火加工は高度な職人スキルが必要 石英ガラスは二酸化ケイ素を原料とし、これを電気炉で溶解してインゴット化し、石英ガラス加工メーカーによって製品に仕上げられる。同手法を用いて作られた石英を溶融(天然石英)と呼ぶのに対し、化学的に合成された不純物の少ない材料を使って作製する合成石英ガラスもある
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