「世界最小」を更新，日立金属が2.9mm角の3軸加速度センサを発表

日立金属は，外形寸法が2.9mm×2.9mm×0.92mmで，体積7.7mm3の3軸加速度センサ「H30CD」を発表した。従来世界最小であった北陸電気工業の「HAAM-325B」の9mm3を抜き，3軸加速度センサとしては世界最小を更新したという。この製品はピエゾ抵抗方式と呼ぶ加速度検知方式を採用したMEMS（micro electro mechanical system）センサである。10ピン，LOCパッケージを採用し，デジタル出力で分解能12ビットのI2Cインタフェースを備える。2006年10月からサンプル出荷，同年12月には量産出荷を始める予定だ。