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【ITC 2007】バラつきをテストの視点で検討した講演が相次ぐ
米国シリコンバレーで開催中のテスト関連の国際会議「ITC（international Test Conference） 2007」では... 米国シリコンバレーで開催中のテスト関連の国際会議「ITC（international Test Conference） 2007」では，実データを使ってプロセス・バラつきをテストの視点で検討した講演が相次いだ。0.18μmプロセスのころからOPC(optical proximity correction)が必須になるなど，世代を経るごとにプロセス・バラつきが大きくなり，その補正技術の必要性が高まっている。
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2007/11/08 リンク