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「3インチで7万円ほど」,値下がり続くパワー素子向けSiC基板
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「3インチで7万円ほど」,値下がり続くパワー素子向けSiC基板
パワー素子向けSiC基板は品質向上だけでなく,低価格化も進んでいる。SiC製パワー素子を手掛けるメーカ... パワー素子向けSiC基板は品質向上だけでなく,低価格化も進んでいる。SiC製パワー素子を手掛けるメーカーが増えたことによる需要の増加もあるが,品質が良い基板を提供するメーカーが増え,「価格競争が起きている」(複数の基板メーカー)ことが大きな要因である。ある基板メーカーによると,結晶欠陥の密度など品質によるものの,「口径3インチ(75mm)品の価格は,購入数が多い場合で7万円ほど。昨年は約10万円した」という。つまり,年率30%ほどで価格が低下したことになる。 SiC基板のほか,基板上にエピタキシャル層を積層した,いわゆる「エピ基板」も複数のメーカーが販売している。国内の主なエピ基板メーカーは昭和電工である( Tech-On!関連記事1)。既に4インチのエピ基板を発売中だ。同社は他社からSiC基板を購入し,エピ層を積んで販売する。 エピ基板の価格に関しては,「エピ層の厚みが10μmほどで3イ