“MEMSの微細化”，Intelが「More than Moore」セッションで語る（4）

米Intel Corp.は，東京で開催されたナノテク関連の国際学会「4ｔｈ International Nanotechnology Conference on Communication and Cooperation（INC4）」の「More than Moore」セッションで，「New paradigms of scaling for MEMS application」と題して講演した。この講演は，同社がMEMSの微細化の可能性について検討してきたことを示す内容だった。