カーボン・ナノチューブ・ウエハー上に3次元構造の電子部品を集積，産総研が開発

図3：垂直配向カーボン・ナノチューブ・フィルムの電子顕微鏡写真（左）と，カーボン・ナノチューブ・ウエハーの光学顕微鏡写真（右）。右の挿入図は2×2cm基板上のカーボン・ナノチューブ・ウエハー 図4：さまざまなカーボン・ナノチューブ構造体の電子顕微鏡写真。左上はSiピラー上のカーボン・ナノチューブ・ビームおよびカーボン・ナノチューブ・シート。右上はカーボン・ナノチューブ・カンチレバー，左下はカーボン・ナノチューブ3次元カンチレバー。右下はカーボン・ナノチューブ3次元配線 産業技術総合研究所（産総研）は，単層カーボン・ナノチューブを用いた集積3次元カーボン・ナノチューブ部品の作製に成功した（発表資料）。カーボン・ナノチューブを高密度に配向させた「カーボン・ナノチューブ・ウエハー」を開発したことで，リソグラフィによる微細加工技術の利用を可能にした。これにより，任意の場所に任意の形状の電子部品構造