半導体プロセスではエッチングのドライ化が進み,また工業的な結晶研磨にはメカノケミカル・ポーリッシュが使われてきた.しかし半導体などのリソグラフィーでアンダーカットによる線編誤差を補正できる場合,ウエットエッチングがなお適用されている.さらにウエットエッチング速度は材料の種類,結晶方位,あるいは不純物濃度による選択性をもつ.この特徴を欠陥現出,材料の評価,および各種加工に活用している.このような転換後のウエットエッチングの状況を概観する.この他,酸化物結晶材料の欠陥評価および研磨のためのエッチ液を探索する選択基準につき解説する.
Online ISSN : 1882-675X Print ISSN : 0912-0289 ISSN-L : 0912-0289
導出した筋活動電位に比例して電気刺激が行われる随意運動介助型機能的電気刺激(integrated volitional control electrical stimulator,以下IVES)は,容易な装着・操作に加えて筋肉スイッチといえる自律型制御を採用している.筋活動電位測定と電気刺激を同一筋肉で行える特徴があり,従来不可能であった可動域にまで関節機能を拡大できる.近赤外光脳機能測定装置を用いた検討では,IVES使用によって対側大脳感覚運動野の脳血流増加を認め,体性感覚入力増加と麻痺手の随意的運動促通の両方が相乗効果をもって,脳神経機構の再構築に寄与すると思われる.IVESのパワーアシストモード,外部入力モードは,脳卒中などで崩れた大脳半球間バランスを是正する作用があり,有用なニューロリハビリテーションの手段といえる.
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