小さなウエハーと小さな製造装置で、少量のICを低コストで作ることを狙うミニマルファブ(Tech-On!関連記事1、同2)。現在、0.5インチ(約12.5mm)のSiウエハーを幅30cmの製造装置群で処理できるようにと、各所で開発が進んでいる(同3)。 そのミニマルファブをテーマにした初めてのシンポジウム「ミニマルファブ・シンポジウム 2013」(主催はミニマルファブ技術研究組合)が2013年7月3日午後に東京・品川で開催された。基調講演2件のあとで、ミニマルファブの顔とも言える原史朗氏(ミニマルファブ技術研究組合 開発プロジェクトリーダ、産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会 代表)らが、ミニマルファブの概要などを紹介した(ミニマルファブ技術研究組合の関連ページ)。 シンポジウムの最後のメニューは、パネル討論会だった。この記事では、討論会の概要を報告する。司会の原氏に加えて、5名のパネ