2009.11.02 特集:原子間力顕微鏡を学ぶ〜改訂 顕微鏡の使い方ノート(羊土社刊)より抜粋〜 【第1回】原子間力顕微鏡の原理 原子間力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)は1986年にG. Binnig,C. F. QuateとC. Gerberによって発明された。 光学顕微鏡や電子顕微鏡と異なり、結像光学に基づく顕微鏡ではなく細い針(探針)の先端で試料表面をなぞることにより表面の凹凸を記録する機器である。探針は一端を固定された薄い板バネの自由端につけられているので、このバネの作用で探針を試料表面に軽く押しつけておき、試料を載せた台を前後、左右に二次元走査する。そうすると探針は試料の表面凹凸にしたがって上下運動をすることになる。 この上下方向の動きを、光てこ方式と呼ばれる変異検出方法で拡大して、探針の動きをコンピュータに蓄積し等高線マップとして可視化する