キヤノンのMII買収が意味するもの｜電子デバイス新潮流～専門記者の最前線レポート by 電子デバイス産業新聞（旧半導体産業新聞）2014年2月14日に、半導体用露光装置を手がけるキヤノンがナノインプリント装置メーカーの米モレキュラーインプリント（MII）を買収すると発表した。買収額は100億円以上と見られ、15年以降に半導体向けに量産機を投入するという。大手一般紙の紙面も賑わせたキヤノンの勝負は吉と出るのか。今回は半導体リソグラフィーを取り巻く環境を整理しながら、キヤノンのMII買収が意味するところを考えてみる。 先端プロセスでは後塵拝す キヤノンは長年、半導体露光装置を手がけており、1980～90年代はニコンと並び、半導体露光装置業界の一角を担っていた。しかし、近年はオランダのASMLの台頭もあり、シェアが急激に低下。先端プロセス向けではASMLやニコンの後塵を拝している。グラフは光源別の各社の市場シェアを示したものだが、ラフレイヤーと呼ばれる比較的プロセスノードが緩いところで用いられるi線露光装置ではトップシェ
