【課題】光学フィルムに生じている欠陥が揮点欠陥を生じさせる欠陥(光学欠陥)であるのか否かを容易に判定できるようにする。 【解決手段】光学フィルム1の一方の面側に配置された偏光板3を介して照明光7で照明しつつ、該光学フィルム1の他方の面側に配置された偏光板2を介して撮像し、該撮像結果に基づいて、光学欠陥の有無を判定する。偏光板2と偏光板3とはクロスニコルに配置される。照明光7として、青から緑の波長帯域内にある単波長光を用い、照明光7による露光時間が最適化されている。 【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【0001】 本発明は、位相差フィルム等の光学フィルムの欠陥を検査する検査方法及び装置に関する。 【背景技術】 【0002】 液晶ディスプレイやその他のフラットパネルディスプレイ等に用いられる位相差フィルム等の長尺の光学フィルムの欠陥検査は、該光学フィルムをロールから繰り出しつつ、繰出方向に対