世界最小、最薄となる0.15mm角、厚さ7.5µmの 非接触型ICチップの動作に成功 従来比で面積1/4、厚さ1/8の小型化を実現、生産性の向上が可能に 日立製作所中央研究所(所長:福永 泰/以下、日立)は、このたび、0.15mm角、厚さ7.5µm(マイクロメートル)*1の世界最小、最薄の非接触型ICチップを開発し、動作確認に成功しました。 開発したチップは、日立が事業展開を進めている0.4mm角の「ミューチップ」*2と同等の動作機能を保ちつつ、小型化したものです。本チップはSOI技術*3を採用しており、従来のシリコン基板の代わりに絶縁層の埋め込まれたSOI基板を利用することで、素子の間隔を縮小し、日立が2003年2月に開発を発表した0.3mm角、厚さ60µmのICチップ(以下、0.3mm角のICチップ)*4と比較し、面積を4分の1と小型化しています。また、チップを薄くする加工技術の開発に