九大ら、TEM装着型で世界最高クラスの感度を実現したX線検出器を開発 | エンタープライズ | マイコミジャーナル九州大学(九大)と日本電子は9月26日、透過型電子顕微鏡(TEM)に装着する世界最高クラスの感度を実現したエネルギー分散型X線検出器を開発したことを発表した。また、併せて同検出器が九大超高圧電子顕微鏡室に設置されている「原子分解能収差補正走査・透過電子顕微鏡」(JEM-ARM200F)に装着したことも発表された。今回の開発は、九大工学研究院および同超高圧電子顕微鏡室長の松村晶教授と、日本電子の技術者による成果。 電子線を物質に当ててその拡大像を得る電子顕微鏡は、大別して走査型と透過型の2種類がある。透過型は、観察したい試料に電子線を当てて、そこを透過した電子を電磁石でできたレンズを通して拡大象を撮るという仕組みだ。物質の内部の構造や形態を明らかにするのに向いているのが、透過型電子顕微鏡というわけである。 さらに、原子分解能収差補正走査・透過電子顕微鏡というのは、透過型電子顕微鏡の電磁レンズ
