真空技術「エネルギー理工学設計演習・実験２」別冊 真空のページ last update 2001.12.13 １．はじめに 1-1 序文と凡例 1-2 圧力範囲と利用例 1-3 用語、単位、記号 1-4 真空装置の構成 1-5 参考図書・カタログ ２．真空ポンプ ３．真空計 3-1 真空計の種類と用途 3-2 ブルドン管真空計 3-3 隔膜真空計 3-4 ピラニ真空計 3-5 熱電対真空計 3-6 ガイスラー管 3-7 ペニング真空計 3-8 電離真空計 3-9 質量分析計 ４．配管用継手 4-1 この継手は何だ？ 4-2 ＪＩＳ真空フランジ 4-3 コンフラットフランジ 4-4 クランプ継手 4-5 ゲージポート 4-6 ＶＣＲとSwagelok 4-7 真空ゴムホースとホース継手 4-8 管用ねじ ５．真空用材料 5-2 ガス放出 5-3 樹脂・ゴム (1)アクリル樹脂[PMMA] (2)硬質
