世界初!液体プロセスで酸化物半導体スイッチの動作確認 かつ、低温熱処理で2倍以上の電気性能を実現 フレキシブルディスプレイの実現を加速 【概要】 スマートフォンやタブレット端末、さらには大型TVまで、ディスプレイの部分には、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor: TFT)と呼ばれる各画素の光の強さを調整するスイッチが搭載されており、素早い動きの画像にも鮮明に対応することにより、高精細な画面を作っている。次世代の情報端末には、より高性能な薄膜トランジスタの実現が不可欠となっており、その材料として、高精細なディスプレイである有機ELを駆動するため、あるいは、消費電力を下げるために、従来のシリコンから、近年、酸化物半導体の一種であるアモルファス(非晶質)InGaZnO(インジウム、ガリウム、亜鉛の酸化物。通称:IGZO)に注目が集まっている。この材料は透明で、従来の非晶質シ