真空薄膜形成やその装置 - 株式会社シンクロン｜技術情報このページは，真空薄膜形成装置を利用して薄膜を作製する方々を対象に，真空とはどのようなものか，真空を利用した薄膜形成技術にはどのようなものがあるのか，薄膜とはどのようなものか，薄膜形成に用いる装置はどのようなものか，真空装置を使用するにあたって注意すること，日常のメンテナンスについてなど，真空薄膜形成をする上で知っていなければならない基本事項を記述しました． このページをお読みいただき，弊社の真空薄膜形成装置の性能を最大限に活用していただければ幸いです．また章の終わりに記載されている参考文献を読んでいただくことにより，詳細な技術を勉強することができます． 2. 真空を利用した薄膜形成の歴史
