クリーンルームの洗浄度と製品の対応範囲 クリーンルームは半導体・製薬・食品など様々な業界で使用されています。 日本で使用されている洗浄度の規格は業界ごとに内容が異なっていますが、現状ではクラスを用いた呼び方が一般的です。 ■インダストリアルクリーンルーム(工業)の規格 0.5μm以上の粒子を基準粒径とし、1立方フィートあたりに存在する粒子の個数によってクラス1から100,000まで6段階でクラス表示をします。 ■バイオロジカルクリーンルーム(食品・製薬)の規格 洗浄度クラスをA-Zone(クラス100)からD-Zone(クラス100,000)までの4段階に分けて区域ゾーンごとに洗浄度を表します。 人間が最大の発塵源 人体及びすべての装着品を含む作業者からの発塵は、クリーンルームにおける最大の汚染源です。また異物の分析結果の一例として、作業者の付着物が多くを占めるという報告もあります。 発塵