MEMS 2008 前日レポート微小な機械システムの最新研究成果が集結会期：1月14～17日(現地時間) 会場：米国アリゾナ州ツーソン市 JW Marriott Starr Pass Resort & Spa MEMS(Micro Electro Mechanical Systems、「メムス」と読む)の研究開発に関する国際学会「MEMS 2008(21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)が米国アリゾナ州ツーソン市で始まった。 MEMSとは、電気信号で動く微小な機械システムを指す。シリコンやガラス、有機材料などをベース(基板)にしており、大きさは数ミリ角程度しかない。マイクロプロセッサやメモリなどと同様の半導体微細加工技術のほか、MEMS独自の加工技術を使って製造する。 これまでに商品化された代表的なMEMSデバイスは、米Texas Instruments(
