「MEMSトランジスタ」をCMOSチップ上に作製、フィルタや発振器が集積可能に:プロセス技術 タイミングデバイス CMOS技術で製造する半導体チップ上に、ギガヘルツオーダーの高周波信号源を集積し、タイミング生成機能を組み込めるという。研究チームによれば、これを応用することで、通信チャネル選択用フィルタや発振器などを、その他のCMOS回路とともに1枚のシリコンチップに搭載できるようになる。 米国の半導体研究コンソーシアム「Semiconductor Research Corporation(SRC)」とコーネル大学(Cornell University)は、「MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)トランジスタ」を発表した。同コンソーシアムの参加企業は、CMOS技術で製造する半導体チップ上にタイミング生成機能を集積できるようになる。 このMEMSトランジス