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今回の技術では、工程の初期段階でICの固有番号基板の一部に多結晶シリコン薄膜を堆積させた後、標準的なFinFET素子と同じ製造工程で同時形成する。
vcc のブックマーク 2015/12/11 15:28
【やじうまPC Watch】 産総研、チップの偽造を防ぐIC指紋技術の精度を3倍に ~多結晶シリコンFinFETにより小型化と低コスト化も可能に[回路][セキュリティ][半導体]今回の技術では、工程の初期段階でICの固有番号基板の一部に多結晶シリコン薄膜を堆積させた後、標準的なFinFET素子と同じ製造工程で同時形成する。2015/12/11 15:28
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pc.watch.impress.co.jp2015/12/07
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