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“NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン（株）は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機を開発し、エネルギー安定性平均0.5％以下で、ロジック生産適用可能レベルである出力10
frothmouth のブックマーク 2015/12/18 15:27
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www.nedo.go.jp2015/12/18
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“NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン（株）は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機を開発し、エネルギー安定性平均0.5％以下で、ロジック生産適用可能レベルである出力10
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EUV光源で出力108Ｗ、24時間の安定発光に成功 | ニュース | NEDO
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