“分割すると2枚のマスクが必要となり、スループットは25％ほど下がる”条件で優先順位が変わるのか。

hiroomi のブックマーク 2019/08/05 22:48

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/4663494096512493025/comment/hiroomi" data-user-id="hiroomi" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/1165543.html" data-original-href="https://pc.watch.impress.co.jp/docs/column/semicon/1165543.html" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Fpc.watch.impress.co.jp%2Fdocs%2Fcolumn%2Fsemicon%2F1165543.html" data-user-icon="/users/hiroomi/profile.png">【福田昭のセミコン業界最前線】 開発が本格化する次世代EUV露光技術、3nm以降の微細化を主導</a><ul class="comment-tag" style="list-style: none; margin: 0px;"><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/ASML">ASML</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E5%84%AA%E5%85%88%E9%A0%86%E4%BD%8D">優先順位</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E7%B5%84%E3%81%BF%E5%90%88%E3%82%8F%E3%81%9B">組み合わせ</a>]</li></ul><br><p style="clear: left">“分割すると2枚のマスクが必要となり、スループットは25％ほど下がる”条件で優先順位が変わるのか。</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/hiroomi/20190805#bookmark-4663494096512493025"><span class="datetime-body">2019/08/05 22:48</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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