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“1) 液浸リソグラフィを大きく下回る解像度 2) 形状や形状の制約がない 3) スキャナーに対して緩和されたオーバーレイ性能 4) 低コストのツール・オプションであるため、これに適している。 ”
hiroomi のブックマーク 2024/03/02 04:10
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twitter.com2024/03/02
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“1) 液浸リソグラフィを大きく下回る解像度 2) 形状や形状の制約がない 3) スキャナーに対して緩和されたオーバーレイ性能 4) 低コストのツール・オプションであるため、これに適している。 ”
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