半導体や液晶などのデバイスメーカーは、露光装置、ドライエッチング装置、成膜装置、CMP装置、洗浄装置、検査装置などを、それぞれを専門に開発している装置メーカーから購入する。 その購入のあり方は、「異常」である。デバイスメーカーと装置メーカーの立場は、対等とは程遠い。デバイスメーカーは、装置メーカーを奴隷扱いしているとしか言いようがない(場合が多い)。今回は、そのような異常な装置購入を巡るお話である。 耐え忍ぶしかない装置メーカー 半導体や液晶用装置というのは、非常にデリケートな精密機械である。したがって、デバイスメーカーに装置を搬入して、電気、ガス、水の配管などを繋ぎ、スイッチを入れたらすぐに使用可能・・・ということにはならない。 例えば、ドライエッチング装置の場合、加工速度はどうか、加工均一性はどうか、微細加工性はどうか、連続加工性はどうか、安全対策はなされているか、など(非常に膨大な)
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