Focus 半導体業界 《日本半導体/製造装置メーカーの共進化/共退化現象②》 露光装置シェアトップのASML その強さの源泉は速度と稼働率 ㈱エフエーサービス 半導体事業部 技術主幹 湯�Focus 半導体業界 《日本半導体/製造装置メーカーの共進化/共退化現象②》 露光装置シェアトップのASML その強さの源泉は速度と稼働率 ㈱エフエーサービス 半導体事業部 技術主幹 湯之上 隆 露光装置の分野で、ニコンおよびキヤノンに代わって、蘭ASMLが世界シェアトップに立った。 ASMLは、特に韓国・台湾では圧倒的なシェアを占めている。韓国・台湾半導体メーカーは、 スループットおよび稼働率に関する高い水準を要求し、ASMLはその要求に応える装置を開発 した。まず、ASMLは、i線からArF液浸まで、4種類の露光装置に共通なプラットフォームを考 え出した。また、各露光装置を、モジュールに分割することにより、装置の機差を最小限にす ることに成功した。これにより、圧倒的なスループットと稼働率を実現している。ASMLは、 次世代EUVL開発においても、 「価格がArF液浸の2倍なら
