90年代、半導体露光装置業界で圧倒的なシェアを握っていたのはニコンとキヤノンであった。Gartnerの2007年4月の発表資料によると、1996年にはニコンが5割弱、キヤノンが2割5分ほどのシェアを獲得しており、この2社で7割ものシェアを握っていた。このときオランダのASMLのシェアは2割。ニコンとキヤノンの後塵を拝していた。ところがそれから10年後の2006年、ASMLのシェアは6割強に達し、名実ともに世界一の半導体露光装置メーカーとしての地位を確立した。10年前とは様相が一変している半導体露光装置業界。現在のリーディングカンパニーであるASMLに、その強さの秘密と今後の展開について取材した。 露光装置シェア躍進の鍵 - 「デュアルウェハー」と「液浸」 ASML BVはオランダのPHILIPSから1984年に分社独立、本社はオランダのフェルトホーヘンにある。従業員数は全世界で約6000名