セイコーインスツル(SII)は、自動車技術の展示会「オートモーティブワールド2014」において、開発中の超小型MEMS加速度スイッチを使った衝撃検知のデモンストレーションを披露した。加速度センサーと違って常時通電する必要がなく、消費電力がゼロで済むことを特徴としている。 セイコーインスツル(SII)は、自動車技術の展示会「オートモーティブワールド2014」(2014年1月15~17日、東京ビッグサイト)において、開発中の超小型MEMS加速度スイッチを使った衝撃検知のデモンストレーションを披露した。 この超小型MEMS加速度スイッチは、中央電極と錘(おもり)、梁(はり)をシリコン基板上に形成したものだ。円形の中央電極と錘の間にすき間があり、錘は取り囲むように形成された梁によってシリコン基板とつながっている。加速度が加わると、錘が慣性力の影響で中央電極に接触し、その際にスイッチがオンになるとい