プレスリリース｜独立行政法人 物質・材料研究機構光導波路中のナノスケール欠陥の観察に成功 −光集積回路の検査がナノスケールで可能に− 平成１７年９月２７日 独立行政法人物質・材料研究機構 【 概 要 】 独立行政法人物質・材料研究機構（理事長：岸 輝雄）、ナノマテリアル研究所（所長：青野 正和）のナノ物性グループ 木戸 義勇ディレクター、三井 正研究員らは、偏光を利用する近接場光学顕微鏡用プローブの開発により、これまで観察することができなかった微小欠陥や歪みが、光導波路中を伝播する光に与える影響を鮮明に観察することに成功した。 これまで情報通信用の光集積回路の評価にはプリズムカプラーを試料に密着させることで屈折率差を無くし、その光を取り出して汎用の光学顕微鏡で観察するという方法が用いられていた。しかしながら、この方法は光の回折限界に制約されるため、波長よりも小さい領域を観察することはできなかった。一方、近接場光学顕微鏡(NSO
