半導体デバイス技術とプロセス技術に関する世界最大の国際会議IEDM(International Electron Devices Meeting)」が今年も、12月5〜7日に米国で開催される。IEDMは、3〜5年後の半導体製造技術を見通すには最適のカンファレンスである。そのプログラムがこのほど決まったので、概要を紹介する。 IEDMは毎年12月上旬〜中旬に米国にて開催される。開催地は西海岸のサンフランシスコあるいは東海岸のワシントンD.C.であり、毎年入れ替わる。今年はワシントンD.C.が開催地となる。 半導体製造技術の開発状況をみると、65nmのCMOS技術による半導体デバイスの量産が2006年に始まる。その次を担う45nmのCMOS技術による量産は2008年に始まると期待されている。IEDMでは、完成が近づく65nmのデバイス技術に関する講演と、45nm以降を想定した要素技術の講演が