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コメント
コメント欄に、「こういう情報がありますよ」と載せてくれた人がいるので、これは良いと思い、すこし長くなると思ったのでこっちにコメントを載せます。 とりあえずここの講座は自分の記憶のメモ的なものと思い始めたものですが、そうは言ってもWebに載せるわけですから、当然読んでくれる人がいるだろうことも想定してます。そこで、以前入社3年目ぐらいまでの若手のエンジニア向けに個人勉強会をやっていたのをベースにして、これから半導体の世界に踏み込むような、ある意味素人向けの話にしようと思ったわけです。 そんなわけで、とりあえずは非常に基本的なインバータをどうやって作るかってことをベースに話を進めようとしたわけです。そのために必要なプロセスやらデバイス物理の話をしていこうと。 だから、DRAMやLOGICの最先端のプロセスに関しては触れていません。コメント欄で指摘してくださったシリサイド、サリサイドなどはもとも
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STマイクロエレクトロニクス:XRAG2
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ポリシリコンと電子デバイス
東芝レビュー2008年10月
ノッチ型ゲート電極でゲート長40nmのMOSトランジスタを実現
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Invited: High-k/Metal Gate Stack for Advanced CMOS | CiNii Research
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