産業技術総合研究所(産総研)とニコンは11月10日、目盛り誤差1nm以下のリニアエンコーダを開発したと発表した。 同成果は産総研 計測標準研究部門 長さ計測科 ナノスケール標準研究室の堀泰明 主任研究員、権太聡 研究室長、同長さ標準研究室の尾藤洋一 研究室長とニコンによる共同研究によるもので、11月9日~14日まで米ボストンで開催されている「29th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE)」で発表される。 リニアエンコーダは、1nm以下の高分解能の「ものさし」であり、表面に刻線のある基板と読取り装置との組み合わせで、長さや位置を非常に正確に測定できる。表面に刻線のある基板には数μm~数十µmの間隔で凹凸の刻線があり、その間隔を読取り、さらに電気的に等間隔に分割することで高分解能の目盛を得
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