NTT HOME > NTT持株会社ニュースリリース > MEMSによる超音波「レーザ」の実現に世界で初めて成功（報道発表資料） 2013年3月18日 MEMSによる超音波「レーザ」の実現に世界で初めて成功 ～半導体チップに集積可能な超高精度振動子の実現に大きな期待～ 日本電信電話株式会社（以下NTT、本社：東京都千代田区、代表取締役社長：鵜浦博夫）は、安定度の高い光を作り出す技術として広く用いられているレーザ※1と類似の原理をMEMS※2に適用し、100万分の1以下という小さな周波数揺らぎしか持たない振動子の動作を実現しました。 今回得られた成果は、全く新しい原理で動作するMEMSとして米国の科学誌「フィジカル・レビュー・レターズ」誌電子版（3月18日付）に掲載される予定です。 なお、本研究の一部は独立行政法人日本学術振興会（東京都千代田区、理事長：安西祐一郎）科学研究費補助金の援助を受けて行われました。 1．背景と成果の概要 電子機器における基準交流信号を作り出す素子である水晶振動子※3は、昨今
