技術レポート「PLCでSECS通信～横河電機社製での実装例～」｜ソフテックだより｜株式会社ソフテック半導体関連のソフトウェア開発では、SEMI(※1)で制定しているSEMIスタンダード(※2)に準拠した実装を行うこともあります。 今回の技術レポートでは、過去の開発実績の中から、SEMIスタンダードに準拠したソフトウェア開発の事例をもとに、SECSによるホスト－装置間の通信を実装した例を紹介します。 本実装例では、横河電機社製FA-M3R(※3)を用い、ラダープログラムにてSECS通信を実装しています。 SECS（SEMI Equipment Communications Standard）とは、SEMIスタンダードの中で、半導体製造装置とホスト間のメッセージ交換に関する通信インタフェースを定義しているものです。SECSは、図1のように階層的なプロトコルになっています。 図1. SECSプロトコル階層 SECS-Iは、ホストと装置間のメッセージ交換に必要な、コネクタ、信号レベル、データレー
SEMI 「SECS/GEM」 半導体製造装置間の通信規格を2日間で学び尽くすセミナー2013年6月26日（水）-6月27日（木） | SEMI
LabVIEWはSECS-IまたはSECS-IIプロトコルを介して通信できますか？ - NI
