発表・掲載日:2008/05/05 自由自在に設計したカーボンナノチューブ3次元デバイスを実現 -カーボンナノチューブ・デバイスの実用化に大きく近づく- ポイント カーボンナノチューブ・ウエハーの開発により、初めて実現。 微細加工技術により任意の場所に任意の形状で作製することが可能。 集積された微小電気機械デバイスを実現。 独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 吉川 弘之】(以下「産総研」という)ナノチューブ応用研究センター【研究センター長 飯島 澄男】スーパーグロースCNTチーム 畠 賢治 研究チーム長、早水 裕平 産総研特別研究員らは、単層カーボンナノチューブ(CNT)を用いた集積3次元CNTデバイスの実現に成功した。 今回、CNTの高密度配向集合体である“カーボンナノチューブ・ウエハー(CNTウエハー)”の開発により、設計したCNTデバイスを大量作製することに成功した。その実例と