文マガ｜文具と事務機のポータルサイト～文具流通マガジン｜株式会社ニチマサクラクレパス（西村彦四郎社長）は、プラズマインジケータ PLAZMARK「ウエハ型」（セラミックタイプ）を発売すると発表した。 プラズマインジケータ PLAZMARKは、プラズマの処理効果を可視化する評価ツールとして、2014年の発売以来、顧客の用途に応じて商品ラインナップを拡充してきた。 この度、要望の多かったウエハプロセス向け商品の第1弾として、PLAZMARK“ウエハ型”セラミックタイプを発売する。ウエハ型インジケータは、電子デバイスのエッチングやアッシングなど、ウエハプロセスの面内分布等の評価に使用することができる。 PLAZMARKの特長の一つが、面内分布を簡単に評価できること。これまで面内分布評価用に「シート型」をラインナップしていたが、基材がフィルムでまた形状も長方形であったため、ウエハプロセス用としては不向きだった。 この度、ユーザーが使用のウエハサイズと同一形状のインジ
