次々世代のトランジスタ技術「コンプリメンタリFET」の構造と種類:福田昭のデバイス通信(310) imecが語る3nm以降のCMOS技術(13) チャンネルの構造はフィンとナノシートの両方が使える 半導体のデバイス技術とプロセス技術に関する世界最大の国際学会「IEDM(International Electron Devices Meeting)」は、「チュートリアル(Tutorials)」と呼ぶ技術講座を本会議(技術講演会)とは別に、プレイベントとして開催してきた。2020年12月に開催されたIEDM(Covid-19の世界的な流行によってバーチャルイベントとして開催)、通称「IEDM2020」では、合計で6本のチュートリアル講演が実施された。その中で「Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and bey