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Metal-oxideのくせに、金属を使わないというね。わざわざ高ドープしてまでSiを使いたがるのは酸化膜の絶縁性が高いとかそんな理由だと思ってたけど、高温でも融けないことが理由か。1000℃以上で熱処理したりするからね
little_elephant のブックマーク 2012/11/28 18:59
なぜSiプロセスではポリシリコンゲートを用いるのか - OKWAVE[電子デバイス][エレクトロニクス][材料][質問サイト]Metal-oxideのくせに、金属を使わないというね。わざわざ高ドープしてまでSiを使いたがるのは酸化膜の絶縁性が高いとかそんな理由だと思ってたけど、高温でも融けないことが理由か。1000℃以上で熱処理したりするからね2012/11/28 18:59
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okwave.jp2012/11/28
Siプロセスに関しての質問です。 現在のSi集積回路では、ゲートにポリシリコンを利用して いるようですが、将来的にはメタルゲートが有望のようです。 そこで質問なのですが、なぜポリシリコンをゲートに用いるの...
1 人がブックマーク・1 件のコメント
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Metal-oxideのくせに、金属を使わないというね。わざわざ高ドープしてまでSiを使いたがるのは酸化膜の絶縁性が高いとかそんな理由だと思ってたけど、高温でも融けないことが理由か。1000℃以上で熱処理したりするからね
little_elephant のブックマーク 2012/11/28 18:59
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なぜSiプロセスではポリシリコンゲートを用いるのか - OKWAVE
okwave.jp2012/11/28
Siプロセスに関しての質問です。 現在のSi集積回路では、ゲートにポリシリコンを利用して いるようですが、将来的にはメタルゲートが有望のようです。 そこで質問なのですが、なぜポリシリコンをゲートに用いるの...
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