ミニマルファブは、0.5インチ（実際は直径12.5±0.2mm）ウエハーを使って製造する。各製造装置の幅は294mmに統一した。これによって最低300mmピッチで装置の連結配置を可能とする。

vcc のブックマーク 2014/12/09 14:07

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/235308298/comment/vcc" data-user-id="vcc" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/1412/04/news110.html" data-original-href="https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/1412/04/news110.html" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Feetimes.itmedia.co.jp%2Fee%2Farticles%2F1412%2F04%2Fnews110.html" data-user-icon="/users/vcc/profile.png">オフィスフロアのスペースに半導体工場ができる！ ミニマルファブ向け装置</a><ul class="comment-tag" style="list-style: none; margin: 0px;"><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93">半導体</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E6%8A%95%E8%B3%87">投資</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E9%96%8B%E7%99%BA">開発</a>]</li></ul><br><p style="clear: left">ミニマルファブは、0.5インチ（実際は直径12.5±0.2mm）ウエハーを使って製造する。各製造装置の幅は294mmに統一した。これによって最低300mmピッチで装置の連結配置を可能とする。</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/vcc/20141209#bookmark-235308298"><span class="datetime-body">2014/12/09 14:07</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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