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“3D構造のNAND型フラッシュメモリーに使われるナノインプリントリソグラフィー用テンプレートの製造にも今回の装置を適用する。DNPでは、今回の生産体制強化により、2019年に年間60億円の売り上げを目指す”
cknbstr のブックマーク 2016/12/15 15:56
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xtech.nikkei.com2016/12/15
大日本印刷（DNP）は、半導体用フォトマスクの製造における描画時間を大幅に短縮可能な「マルチ電子ビームマスク描画装置」を導入した 。同装置の導入は、フォトマスク専業メーカーとして「世界初」とし、次世代...
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“3D構造のNAND型フラッシュメモリーに使われるナノインプリントリソグラフィー用テンプレートの製造にも今回の装置を適用する。DNPでは、今回の生産体制強化により、2019年に年間60億円の売り上げを目指す”
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DNP、マルチ電子ビームマスク描画装置を導入
大日本印刷（DNP）は、半導体用フォトマスクの製造における描画時間を大幅に短縮可能な「マルチ電子ビームマスク描画装置」を導入した 。同装置の導入は、フォトマスク専業メーカーとして「世界初」とし、次世代...
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