極端の紫外線だと波長はオリゴマーのサイズぐらいに小さくなるのかな？それより短いと何でも壊すようになるから、レジストの感光性よりも、マスクの質量みたいな物理的性質が重要になる感じ。やっぱ紫外線は化学線

little_elephant のブックマーク 2013/03/23 21:59

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/42395858/comment/little_elephant" data-user-id="little_elephant" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/hr-inoue.net/zscience/topics/nanotech/nanotech.html" data-original-href="https://hr-inoue.net/zscience/topics/nanotech/nanotech.html" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Fhr-inoue.net%2Fzscience%2Ftopics%2Fnanotech%2Fnanotech.html" data-user-icon="/users/little_elephant/profile.png">雑科学ノート　－ 微細加工の話 －</a><ul class="comment-tag" style="list-style: none; margin: 0px;"><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E3%82%B5%E3%83%96%E3%83%9F%E3%82%AF%E3%83%AD%E3%83%B3">サブミクロン</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E3%83%8A%E3%83%8E%E3%83%86%E3%82%AF">ナノテク</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E3%82%A8%E3%83%AC%E3%82%AF%E3%83%88%E3%83%AD%E3%83%8B%E3%82%AF%E3%82%B9">エレクトロニクス</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E5%BF%9C%E7%94%A8%E7%89%A9%E7%90%86">応用物理</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E9%9B%BB%E7%A3%81%E6%B3%A2">電磁波</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E9%AB%98%E5%88%86%E5%AD%90">高分子</a>]</li></ul><br><p style="clear: left">極端の紫外線だと波長はオリゴマーのサイズぐらいに小さくなるのかな？ それより短いと何でも壊すようになるから、レジストの感光性よりも、マスクの質量みたいな物理的性質が重要になる感じ。やっぱ紫外線は化学線</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/little_elephant/20130323#bookmark-42395858"><span class="datetime-body">2013/03/23 21:59</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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