雑科学ノート － 微細加工の話 －

最近、新聞などで「ナノテク」という言葉を目にしない日はほとんどありません。現実にはナノメーター（nm = 10-9m）までは行かないマイクロメーター（μm = 10-6m）レベルのものもありますが、とにかく小さい物を扱う技術は花盛りです。かつて「大きいことはいいことだ」というフレーズが流行ったことがありましたが、小さいことの利点もいろいろあります。部品が小さくなれば、それを使った機械装置も小さく、持ち運びに便利になりますし、逆に全体の大きさが同じならば、小さいほど多くの部品が詰め込めて高機能になります。典型的なのがLSIやそれを活用したコンピューターですね。細い配管の中や、場合によっては人間の体の中で活動するロボットなども、「小ささ」の「大きな価値」の一つでしょう。また、単に物理的な大きさの問題だけでなく、小さくすることによって新しい機能が発生することもあります。先のLSIの例では、小さく

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カット : ウェットエッチング、ドライエッチング 電極 : リフトオフ法

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極端の紫外線だと波長はオリゴマーのサイズぐらいに小さくなるのかな？ それより短いと何でも壊すようになるから、レジストの感光性よりも、マスクの質量みたいな物理的性質が重要になる感じ。やっぱ紫外線は化学線