”パーティクルの発生は主に、ガス導入時、圧力変化時、電圧印加時、振動発生時、温度変化時に引き起こされていることを明らかに”

パーティクル

hiroomi のブックマーク 2019/08/15 11:24

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/4673012491483638722/comment/hiroomi" data-user-id="hiroomi" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/www.tel.co.jp/rd/highlights/20181225_001.html" data-original-href="https://www.tel.co.jp/rd/highlights/20181225_001.html" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Fwww.tel.co.jp%2Frd%2Fhighlights%2F20181225_001.html" data-user-icon="/users/hiroomi/profile.png">歩留まり向上技術　装置内におけるナノサイズのパーティクル発生との闘い | 研究・開発 | 東京エレクトロン株式会社</a><ul class="comment-tag" style="list-style: none; margin: 0px;"><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E3%83%91%E3%83%BC%E3%83%86%E3%82%A3%E3%82%AF%E3%83%AB">パーティクル</a>]</li></ul><br><p style="clear: left">”パーティクルの発生は主に、ガス導入時、圧力変化時、電圧印加時、振動発生時、温度変化時に引き起こされていることを明らかに”</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/hiroomi/20190815#bookmark-4673012491483638722"><span class="datetime-body">2019/08/15 11:24</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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