材料を熱で蒸発させて、基板の上で冷やして固体にる方法を「真空蒸着」といいます。材料にイオンをぶつけて材料を基板に向かって飛ばす方法を「スパッタリング」といいます。

mabarasuji のブックマーク 2022/08/20 05:48

<blockquote class="hatena-bookmark-comment"><a class="comment-info" href="https://b.hatena.ne.jp/entry/4724072261290128451/comment/mabarasuji" data-user-id="mabarasuji" data-entry-url="https://b.hatena.ne.jp/entry/s/engineer-education.com/about_thinfilm/" data-original-href="https://engineer-education.com/about_thinfilm/" data-entry-favicon="https://cdn-ak2.favicon.st-hatena.com/64?url=https%3A%2F%2Fengineer-education.com%2Fabout_thinfilm%2F" data-user-icon="/users/mabarasuji/profile.png">３分でわかる技術の超キホン 「薄膜」とは？ | アイアール技術者教育研究所</a><ul class="comment-tag" style="list-style: none; margin: 0px;"><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E6%98%AD%E5%92%8C%E7%9C%9F%E7%A9%BA">昭和真空</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E8%96%84%E8%86%9C">薄膜</a>]</li><li style="float: left">[<a href="https://b.hatena.ne.jp/q/%E6%88%90%E8%86%9C">成膜</a>]</li></ul><br><p style="clear: left">材料を熱で蒸発させて、基板の上で冷やして固体にる方法を「真空蒸着」といいます。 材料にイオンをぶつけて材料を基板に向かって飛ばす方法を「スパッタリング」といいます。</p><a class="datetime" href="https://b.hatena.ne.jp/mabarasuji/20220820#bookmark-4724072261290128451"><span class="datetime-body">2022/08/20 05:48</span></a></blockquote><script src="https://b.st-hatena.com/js/comment-widget.js" charset="utf-8" async></script>

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