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“Si半導体以外の基板向けALD市場は今後年平均12%で成長し、2026年には6.8億ドルにまで拡大”
mabarasuji のブックマーク 2023/01/07 11:05
サムコ、SiC/GaNパワー半導体などの研究開発用プラズマALD装置を発表[サムコ]“Si半導体以外の基板向けALD市場は今後年平均12%で成長し、2026年には6.8億ドルにまで拡大”2023/01/07 11:05
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news.mynavi.jp2023/01/07
半導体製造装置メーカーのサムコは、SiCやGaNを材料とした次世代パワー半導体デバイスにおけるゲート酸化膜形成の研究開発向けとして100~200mmウェハ対応枚葉式プラズマALD(原子層堆積)装置「AD-800LP」を開発、...
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“Si半導体以外の基板向けALD市場は今後年平均12%で成長し、2026年には6.8億ドルにまで拡大”
mabarasuji のブックマーク 2023/01/07 11:05
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サムコ、SiC/GaNパワー半導体などの研究開発用プラズマALD装置を発表
news.mynavi.jp2023/01/07
半導体製造装置メーカーのサムコは、SiCやGaNを材料とした次世代パワー半導体デバイスにおけるゲート酸化膜形成の研究開発向けとして100~200mmウェハ対応枚葉式プラズマALD(原子層堆積)装置「AD-800LP」を開発、...
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