“Si半導体以外の基板向けALD市場は今後年平均12%で成長し、2026年には6.8億ドルにまで拡大”

mabarasujimabarasuji のブックマーク 2023/01/07 11:05

その他

このブックマークにはスターがありません。
最初のスターをつけてみよう!

サムコ、SiC/GaNパワー半導体などの研究開発用プラズマALD装置を発表

    半導体製造装置メーカーのサムコは、SiCやGaNを材料とした次世代パワー半導体デバイスにおけるゲート酸化膜形成の研究開発向けとして100~200mmウェハ対応枚葉式プラズマALD(原子層堆積)装置「AD-800LP」を開発、...

    \ コメントが サクサク読める アプリです /

    • App Storeからダウンロード
    • Google Playで手に入れよう